CIQTEK 国仪量子 DB550 双束显微镜
DB550 是一款追求**产出效能的纳米分析工具。它采用低电压高分辨电子镜筒与超级减速方案， 在极低电压下仍能保持亚纳米级成像解析。 核心升级的新一代 “承影 2.0” 离子镜筒， 以更优的低压分辨率与大束流表现，优化纳米加工的速率。 集成式的硬件体系与智能软件算法， 为您打造优雅全能的微纳分析与加工中心， 显著提升产出效率
产品优势
高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品
“承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样
机械手采用集成控制方式，通过成像界面精准控制移动
自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，**的售后服务
技术介绍
"承影"离子镜筒
技术特点
分辨率：2.5 nm@30 kV
探针电流：1 pA~100 nA
加速电压范围：500 V~30 kV
使用寿命：≥1000小时
长时间稳定性：72小时不间断工作
产品参数
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电子束系统
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电子枪类型
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高亮度肖特基场发射电子枪
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分辨率
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1.4 nm@1 kV，0.9 nm@15 kV
1.3 nm @ 1 kV（with TD），
1.2 nm@1.0 kV*
1.9 nm@200 V（with TD），
0.7 nm@15 kV*
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加速电压
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20 V ~ 30 kV
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离子束系统
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离子源类型
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液态镓离子源
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分辨率
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2.5 nm@30 kV
100 nm@1 kV
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加速电压
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500 V ~ 30 kV
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样品室
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真空系统
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全自动控制，无油真空系统
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摄像头
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三摄像头
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（光学导航+样品仓内监控x2）
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样品台类型
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五轴机械优中心样品台
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样品台行程
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X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm
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T: -38°~70°，R: 360° 连续可调
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X=150 mm，Y=150 mm，Z=65 mm
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T: -10°~70°，R: 360°（可选）
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探测器和扩展
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标配
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镜筒内电子探测器(Inlens)
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旁侧二次电子探测器（ETD）
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选配
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插入式背散射电子探测器（BSED）
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插入式扫描透射探测器（STEM）
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能谱仪（EDS）
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背散射衍射（EBSD）
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纳米机械手
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气体注入器
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等离子清洗
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样品交换仓
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轨迹球&旋钮控制板
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软件
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语言
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中文
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操作系统
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Windows
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导航
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光学导航、手势快捷导航
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自动功能
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自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
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