CIQTEK 国仪量子 DB560 双束显微镜

CIQTEK 国仪量子 DB560 双束显微镜

DB560是一款优雅全能的纳米分析和制样工具，低电压高分辨的电子镜筒，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒提供了高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器，一体化设计的控制软件，为您打造全能纳米分析和加工中心。

高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品

“承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样

样品仓内压电陶瓷驱动的机械手，集成式控制方式，操作精准到位

自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，**的售后服务

"承影"离子镜筒

技术特点

分辨率：3 nm@30 kV                 120 nm@1 kV

探针电流：1 pA~100 nA

加速电压范围：500 V~30 kV

使用寿命：≥1000小时

长时间稳定性：72小时不间断工作

纳米机械手

技术特点

仓内安装方式

全压电驱动

编码精度≤10nm

*大移动速度2mm/s

集成式控制方式

离子束-电子束协同

产品参数

电子束系统	电子枪类型	高亮度肖特基场发射电子枪
	分辨率	0.9 nm@15 kV
	加速电压	20 V ~ 30 kV
离子束系统	离子源类型	液态镓离子源
	分辨率	3 nm@30 kV ≤120nm @ 1kV
	加速电压	500 V ~ 30 kV
样品室	真空系统	全自动控制，无油真空系统
	摄像头	三摄像头
		（光学导航+样品仓内监控x2）
	样品台类型	五轴机械优中心样品台
	样品台行程	X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm
		T: -10°~+70°，R: 360°
探测器和扩展	标配	镜筒内电子探测器(Inlens)
		旁侧二次电子探测器（ETD）
	选配	插入式背散射电子探测器（BSED）
		插入式扫描透射探测器（STEM）
		能谱仪（EDS）
		背散射衍射（EBSD）
		纳米机械手
		气体注入器
		等离子清洗
		样品交换仓
		轨迹球&旋钮控制板
软件	语言	中文
	操作系统	Windows
	导航	光学导航、手势快捷导航
	自动功能	自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

气体注入器

单气体注入

多种气源可选

伸缩距离≥35 mm

重复定位精度≤10 um

加热温度控制精度≤0.1℃

加热温度范围：室温~90℃

集成式控制方式

微信/手机： 18938648240   QQ : 1605935956    电话 : 0755-83317774      Email : 1605935956@qq.com

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