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- 产品名称：CIQTEK 国仪量子 HEM6000 高速扫描电子显微镜
- 产品型号：
- 产品展商：CIQTEK 国仪量子
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简单介绍
CIQTEK 国仪量子 HEM6000 高速扫描电子显微镜
产品描述
CIQTEK 国仪量子 HEM6000 高速扫描电子显微镜
HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。
采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。
面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。
产品优势
高速自动化
全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍
大场低畸变
跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变
低压高分辨
样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率
应用领域
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指标
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HEM6000
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常规场发射扫描电镜
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像素尺寸(单张)
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12288*12288
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像素点时间
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40 ns（点/行/帧平均数：2/2/1）
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800 ns
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像素大小
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16 nm
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拍摄总面积
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2 .62mm²
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拍摄总时间
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21分34秒
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>190分
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产品参数
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关键参数
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分辨率
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1.3nm@3 kV，SE ; 1.5nm@1 kV，SE
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1.9nm@ 3 kV, BSE; 2.3nm@ 1 kV, BSE
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0.9nm@30kV，STEM
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加速电压
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100 V~6 kV(减速模式)
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6 kV~30 kV(非减速模式)
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放大倍率
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66~1,000,000x
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电子枪类型
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高亮度肖特基场发射电子枪
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物镜类型
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浸没式电磁复合物镜
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偏转系统
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静电偏转器
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样品装载系统
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真空系统
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全自动控制，无油真空系统
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样品监控
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样品仓监控水平摄像头； 换样仓监控垂直摄像头
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样品*大尺寸
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直径4英寸
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样品台
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类型
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电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台）
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行程
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X、Y轴：110mm；
Z轴：16mm；
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重复定位精度
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X轴：±0.6μm；
Y轴：±0.3μm；
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换样方式
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全自动控制
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换样时间
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＜15 min
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换样仓清洗
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全自动控制等离子清洗系统
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图像采集与处理
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驻点时间
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10 ns/pixel
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图像采集速度
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2*100 M pixel/s
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图像大小
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24K*24K
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探测器和扩展
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标配
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镜筒内混合电子探测器
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选配
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低角度背散射电子探测器
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镜筒内高角度背散射电子探测器
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明场透射电子探测器
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高角/中角/底角暗场透射电子探测器
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压电驱动样品台
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高分辨大场模式
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样品仓等离子清洗系统
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6英寸样品装载系统
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主动减震台
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AI降噪；大图拼接；三维重构
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软件
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语言
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中文
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操作系统
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Windows
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导航
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光学导航、手势快捷导航
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自动功能
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自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
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微信/手机： 18938648240 QQ : 1605935956 电话 : 0755-83317774 Email : 1605935956@qq.com